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ASTM F 1530-2002 用自动无触点扫描法测量硅片平整度、厚度和厚度变化的标准试验方法

作者:标准资料网 时间:2024-05-13 02:07:58  浏览:8772   来源:标准资料网
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【英文标准名称】:StandardTestMethodforMeasuringFlatness,Thickness,andThicknessVariationonSiliconWafersbyAutomatedNoncontactScanning
【原文标准名称】:用自动无触点扫描法测量硅片平整度、厚度和厚度变化的标准试验方法
【标准号】:ASTMF1530-2002
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:探测法;半导体;薄片;平整度;硅;厚度;试验
【英文主题词】:thickness;semiconductors;probemethods;wafers;flatness;silicon;tests
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:12P;A4
【正文语种】:英语


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基本信息
标准名称:冲模滑动导向模座 中间导柱上模座
英文名称:Holder for sliding guide die sets for press diess tools-Punch holder for center pillar sets
中标分类: 机械 >> 工艺装备 >> 模具
ICS分类: 机械制造 >> 无屑加工设备 >> 模制设备和铸造设备
替代情况:替代GB 2855.9-1981;被GB/T 2855.1-2008代替
发布部门: 国家标准化管理委员会
发布日期:1990-07-23
实施日期:1991-05-01
首发日期:1981-12-29
作废日期:2008-10-01
主管部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国模具标准化技术委员会
起草单位:桂林电器科研所
出版社:中国标准出版社
出版日期:1900-01-01
页数:6页
适用范围

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所属分类: 机械 工艺装备 模具 机械制造 无屑加工设备 模制设备和铸造设备
【英文标准名称】:Waveguidetypedielectricresonators-Part4-1:Blankdetailspecification
【原文标准名称】:波导型介电谐振器第4-1部分:空白详细规范
【标准号】:IEC61338-4-1-2005
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2005-03
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际电工委员会(IX-IEC)
【起草单位】:IEC/TC49
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:电气工程;介质装置;波导管;质量评定;卫星接收;测量技术;空白格式;通信系统;试验;详细规范;测量方法;谐振器;额定值;指导手册;质量;导电体;质量保证
【英文主题词】:Blankforms;Communicationsystems;Detailspecification;Dielectricdevices;Electricconductors;Electricalengineering;Guidebooks;Measuringtechniques;Methodsformeasuring;Orderindications;Quality;Qualityassessment;Qualityassurance;Ratings;Resonators;Satellitereception;Testing;Testingrequirements;Waveguides
【摘要】:IsablankdetailspecificationandassuchasupplementarydocumenttothesectionalspecificationIEC61338-4.Containsrequirementsfortheminimumcontentofdetailspecifications.
【中国标准分类号】:L18
【国际标准分类号】:31_140;33_120_10
【页数】:14P.;A4
【正文语种】:英语



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